芯片失效分析中的封装与材料分析全解

本篇文章面向封装工程师、失效分析(FA)工程师、可靠性验证人员以及研发管理者,系统性阐述与封装及封装材料相关的失效机制、材料问题、工艺缺陷与诊断技术,并给出切实可行的预防与改进建议。内容覆盖热机械失效、分层与“爆米花”效应、3D/TSV互连问题、α粒子软误差、电化学迁移、材料老化、键合与底座类工艺缺陷,以及定位与无损/有损检测方法(EMMI、OBIRCH、SAT、X-ray、CT、SEM/EDS、FTIR、DSC/TGA 等)。

一、封装结构失效机制

封装既是芯片的“保护衣”,又是其与外界的机械、电气和热学接口。封装结构的设计与材料选择直接决定长期可靠性。以下是常见且高风险的失效机制及其形成条件。

1. 热机械应力失效

芯片(硅片)与外部载体(如印制电路板 FR-4、金属基板等)及封装材料的热膨胀系数(CTE)差异,会在热循环中引起显著应力。硅片的CTE约为 ~3 ppm/℃,而 FR-4 典型为 ~14–20 ppm/℃。这种差异在每次温度变化时产生剪切、拉伸与压缩应力,其中焊球/微凸点(solder bump/micro-bump)和键合线是受力的薄弱环节。

典型表现:

  • 焊球疲劳裂纹并最终断裂(尤其在车规环境 -40℃ ~ 125℃ 的循环下)。
  • 键合区微裂纹或金线断裂,影响电连接完整性。
  • 环氧模塑料(EMC)固化收缩引起的内凹或外鼓形变,改变散热/应力分布。

工程措施:

  • 优化焊料组合与回流曲线,降低焊点应力集中。
  • 采用低CTE底座/填充或调整PCB层叠结构,缩小CTE差异。
  • 利用仿真(热-结构耦合)评估热循环寿命并优化封装几何。

2. 分层与“爆米花”(Popcorn)效应

塑封料吸湿导致的回流焊“爆米花”效应是封装早期失效高发原因之一。塑封材料吸收的水分在短时间高温(回流、再流)条件下汽化产生内压,若封装内孔隙/界面无法及时释放蒸汽压力,便会发生爆裂、分层或封装翘起。

关键点:

  • 吸湿临界值典型参考为 ~0.1 wt%(视材料与封装厚度而定)。
  • 薄型 QFP、BGA、QFN 等薄封装更易出现破裂;薄封装的散热路径较短,内部压力更集中。
  • 界面分层会导致介电常数变化、阻抗失配和高速信号完整性下降。

管控要点:

  • 遵循 MSL(Moisture Sensitivity Level)规则储存与运输,必要时进行烘烤(Bake)回潮处理。
  • 在封装材料选择上优先考虑低吸湿性与高 Tg(玻璃转变温度)的树脂体系。
  • 工艺上控制回流升温速率与峰值时间,减少瞬时内压累积。

3. TSV(硅通孔)互连可靠性

3D 封装中通过硅通孔(TSV)实现垂直互连,能显著提升集成度与带宽,但带来了新的可靠性挑战。TSV 常见问题包括铜填充缺陷(未完全填充或夹杂空隙)、介电界面裂纹、以及微凸点(micro-bump)在热循环中的开裂。

失效风险:

  • 任何单点失效(TSV 或 micro-bump)在垂直堆叠中可能导致整个立体结构失效。
  • 铜迁移或应力导致的界面脱落会降低导通性并增加电阻。

建议:

  • 对 TSV 进行声学与三维 CT 检测,严格控制填充质量。
  • 优化铜填充与化学机械抛光(CMP)流程以减少孔隙。
  • 在设计上保留冗余互连与容错路径(where possible)。

二、材料特性引发的失效

封装材料(塑封料、键合材料、焊料、导电膏等)的本征特性或杂质问题,常常成为导致系统级失效的“隐形”根源。

1. α粒子引起的软错误(Soft Error)

某些封装或基板材料在矿物填料或添加剂中可能含有微量的放射性元素(铀、钍),这些元素衰变释放出的 α 粒子可在半导体器件中引发单粒子翻转(SEU)。对存储单元(DRAM、SRAM)和临界寄存器尤为危险,可能产生数据丢失或系统误判。

控制方法:

  • 选用低放射性或经净化的填充剂/玻纤材料。
  • 对关键存储器采用 ECC(错误校正码)与冗余设计。

2. 电化学迁移(Electrochemical Migration / CAF)

在潮湿和偏低电压差的电场条件下,Ag⁺、Cu²⁺ 等金属离子会通过界面/毛细通路迁移并在阴极处还原形成导电枝晶(CAF),最终引起短路或漏电增加。此问题在高密度互连(HDI)、金属线路细化和无焊盘设计中尤为突出。

防护策略:

  • 改善涂覆及清洗流程,移除助焊残留和盐类污染物。
  • 采用封装或基板表面防潮/涂层(conformal coating)以阻断迁移通道。
  • 设计上控制电位差与在关键区域采用防迁移合金或金属化策略。

3. 材料老化与电学/热学退化

长时间暴露在热、光、湿环境中会引起塑封料与粘接剂等有机材料的化学降解。后果包括介电常数漂移、吸湿性升高、界面附着力下降以及金属氧化(如 Cu → CuO),这些都会引起阻抗变化、信号退化与接触电阻增加。

检测指针:

  • 用 FTIR 检测官能团氧化生成物;
  • 用 DSC/TGA 评估热稳定性和分解温度的漂移;
  • 用 SEM/EDS 检查金属氧化层及界面成分变化。

三、典型工艺缺陷与其失效表现

即便材料与设计满足要求,工艺执行环节的细小偏差也会放大成后期失效的风险。以下列举常见工艺缺陷,并分析其诱发的失效路径。

1. 引线键合相关失效

在线键合(Wire Bonding)过程中,不良的树脂流动或填充物夹杂可能导致金线被拖拽或碰撞,从而发生偏移乃至断裂。典型失效包括引线短路、金线折断或应力迁移导致互连电阻异常。

应对措施:

  • 控制模塑料流动路径与黏度,避免在键合区产生强剪切力。
  • 优化键合工艺和金线张力设置,保持键合点的一致性与机械强度。

2. 底座偏移与器件翘曲

薄型封装在封装或回流过程中容易发生底座偏移,导致焊球共面性失衡,影响后续 SMT 贴装的焊接质量。湿气渗透或材料不均匀更会造成器件变形和翘曲。

工艺控制点:

  • 严格控制封装温度曲线与压力,避免在固化阶段发生位移。
  • 对薄型器件采用夹具支撑或特殊载具,保证板面平整。

3. 空洞(Voids)与未填充缺陷

封装过程中气泡滞留或填充不良形成的空洞会降低热传导效率,产生局部热点并在热循环中形成应力集中点,最终导致微裂纹或焊球疲劳裂纹。

减小空洞策略:

  • 优化真空抽真和脱泡流程,改进注填速度与通气结构。
  • 在高功率应用中采用填充材料或散热界面材料以改善热阻。

四、分析与诊断技术需求(设备与方法)

封装与材料失效的诊断需要多模态检测方案,结合无损快速筛查与有损精细剖析。

1. 失效定位技术(电性与光学)

EMMI(Electromagnetic Emission Microscopy):通过监测芯片在工作时的微弱电磁/光学发射,定位漏电与发光异常位置,适合寻找隐蔽发光或漏电点。

OBIRCH(Optical Beam Induced Resistance Change / Laser OBIRCH):使用激光扫描诱发局部电阻变化,从而定位高阻或低阻区域,常用于快速定位短路/开路源。

两者联合使用可以在不破坏器件的前提下,快速缩小失效点位范围,为后续物理剖析节省时间与成本。

2. 无损检测(NDT)

  • SAT(扫描声学显微镜):可检测封装内部的分层、空洞与界面缺陷,对 BGA 焊点与塑封内部尤为有效。
  • X-ray / 2D透视与3D CT:用于观察焊球形貌、微凸点、内层布线与 TSV 结构,三维重建帮助判断结构完整性。

3. 材料成分与微区分析(有损)

  • SEM/EDS:用于高放大倍数下观察断口形貌并进行元素定性/半定量分析(例如检测铜氧化层、杂质元素)。
  • FTIR:鉴别有机封装材料的化学键变化,用于判别氧化或降解产物。
  • DSC / TGA:评估材料的热稳定性、玻璃转变温度(Tg)与质量损失温度。

五、实践中的失效分析流程(推荐步骤)

一个行之有效的封装失效分析流程通常包含以下步骤:

  1. 信息收集:收集批次号、储运条件、使用环境、失效时间/次数及电气日志。
  2. 初筛与电测:通过 X-ray、OBIRCH/EMMI、快速电测试筛查异常样本并定位疑似区。
  3. 无损成像与统计:使用 SAT、CT 对多样本进行统计分析,判断缺陷是否为批量性问题。
  4. 定点剖析:对定位点进行去封装、截面制样并用 SEM/EDS、FTIR 等做深入分析。
  5. 机理验证:结合工艺记录(温度曲线、材料批次)与实验再现(老化、热循环)验证失效机理。
  6. 出具报告与改进建议:包含发现、根因分析、风险评估与工程整改建议(材料/工艺/设计层面)。

六、预防与工程改进建议(可落地措施)

针对前述各类失效机理,以下给出工程上可实施的措施,既有短期可行方案,也有中长期的系统性改进方向:

短期(工艺与物料管控)

  • 严格执行 MSL 管理,回流前烘烤;
  • 清洁与焊接后洗板流程,移除助焊残留与盐分;
  • 对关键物料(塑封料、铜箔、金线)实施来料放行与放射性检测(针对 α);
  • 改进注塑与固化曲线,减少残余应力。

中期(设计与仿真)

  • 在封装与 PCB 设计阶段进行热-应力耦合仿真,优化封装厚度与热路径;
  • 增加焊点冗余、微凸点冗余或采用弹性互连结构以降低单点风险;
  • 为 TSV 与 3D 结构设定额外的工艺与在线检测点,确保填充/沉积的一致性。

长期(体系化与策略)

  • 建立失效数据库(FA case),做失效模式与影响分析(FMEA);
  • 与材料供应商共同开发低吸湿、低放射性、抗迁移的新型封装材料;
  • 推行工艺六西格玛/统计过程控制(SPC),将生产偏差化为可控指标。

七、结语与行动要点

封装与材料相关的失效是半导体可靠性管理中最复杂且最脆弱的环节之一。有效的防护需要设计、材料、工艺和测试多方协同:从源头(材料选择与配方)、到工艺(注塑、回流、键合)、再到检测(无损筛查与有损验证)以及后续的质量体系闭环(FA、FMEA、SPC),每一步都不容忽视。

行动要点回顾:优先做好 MSL 与储运管理;对关键物料做放射性与含湿率检测;在设计阶段进行热-机械仿真;对 TSV/3D 结构增加早期无损检测;建立失效数据库并形成闭环改进。

如需,本团队可协助制定针对性的失效分析方案(含OBIRCH/EMMI排查、SAT/X-ray/CT无损筛查、SEM/EDS+FTIR材料剖析、热循环/老化再现试验),并根据贵司产品特性定制可靠性验证计划与工艺改进清单。

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