芯片金属腐蚀失效的环境诱因与FA证据

深入解析氯离子(Cl⁻)、二氧化硫(SO₂)等环境污染物如何诱发芯片铝/铜金属腐蚀,结合SEM形貌与EDS元素分析,揭示典型失效特征与根因判断依据。关键词:金属腐蚀, 芯片失效分析。