XRR X 射线反射率薄膜分析
XRR 技术是半导体薄膜表征的核心手段，可精准测量膜厚、密度及界面粗糙度。本文详解 X 射线反射率原理、测试流程及在芯片制造中的关键应用，涵盖多层膜结构分析与数据拟合方法，为工艺研发提供可靠数据支持，助力提升器件性能与良率控制，满足高精度检测需求。
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